CNC metal kesme takımlarının işleme doğruluğu, orijinal tel seviyesinden (0,01mm) mikron seviyesine (0,001mm) kadar iyileştirildi ve bazı çeşitler yaklaşık 0,05μm'ye ulaştı. Ultra-hassas CNC takım tezgahlarının mikro-kesilmesi ve taşlanması için doğruluk yaklaşık 0,05μm civarında stabil olabilir ve şekil doğruluğu yaklaşık 0,01μm'ye ulaşabilir. Işık, elektrik, kimyasal ve diğer enerji kaynaklarının kullanıldığı özel işlemlerin hassasiyeti nanometre seviyesine (0,001μm) ulaşabilmektedir. Takım tezgahı yapı tasarımının optimizasyonu, takım tezgahı parçalarının son derece-ince işlenmesi ve hassas montajı, yüksek-hassasiyetli tam-kapalı-döngü kontrolü ve sıcaklık ve titreşim gibi dinamik hata dengeleme teknolojisinin kullanımı yoluyla, takım tezgahı işlemenin geometrik doğruluğu iyileştirilir ve şekil ve konum hatası, yüzey pürüzlülüğü vb. azaltılır. mikron altı ve nano-ölçekli ultra-sonlandırma çağına girmek için.
